真空等离子清洗设备采用一体化结构,配备RF离子清洗系统,全自动化控制,操作方便,维护方便。
通过RF高频发生器,可产生高密度等离子体,对工件表面进行活化、刻蚀、灰化,有效去除产品表面灰尘及油脂,释放表面应力,使工件表面获得各种改性。
适用于橡胶、玻璃、陶瓷、金属等材质产品,应用于微电子、LCD、LED、LCM、PCB电路板、半导体封装,以及医疗器械、生命科学试验等领域。
VLY1000
φ1000*H1000(mm)
设备可根据客户要求定制