该设备的阴极采用前置线圈与永磁叠加的双驱动技术,配合阳极层离子源刻蚀系统及三维多角度夹具,实现多工位同时工作;配备大直径阴极电弧,在大电流的使用条件下,其阴极电弧具有优异的冷却性,弧斑运动速度快,离化率高,沉积速率快,可高效沉积更加致密且光滑的涂层,其涂层的抗氧化及耐高温性能优势更显著。
设备可镀制AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN等耐高温超硬涂层,已广泛应用于微钻、铣刀、丝锥、杆状类刀具、汽车零部件、医疗器械等领域。
涂层性能举例:
涂层 | 膜厚(um) | 硬度(HV) | 最大工作温度(℃) | 颜色 | 涂层应用 |
Ta-C | 1-2.5 | 4000-6000 | 400 | 黑色 | 石墨、碳纤维、复合材料、铝及铝合金 |
TiSiN | 1-3 | 3500 | 900 | 古铜色 | 55-60HRC不锈钢切削,精加工 |
AlTiN-C | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | 蓝灰色 | 低硬度不锈钢切割、成型模具、冲压模具 |
CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | 灰色 | 重切削、冲压模具 |
CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | 灰色 | 55-60HRC不锈钢切削,精加工,干切削 |