设备采用立式模块化设计结构,配备多个检修门,便于腔体独立安装与维护,方便组装和日后升级;配备全封闭式净化料架传送系统,避免工件受到污染;工件可选择单面或双面镀膜;主要用于沉积光学彩膜或金属膜。
设备的镀膜室长期保持高真空状态,杂气少,所镀制的膜层纯净度高,折射率好;配置了全自动Speedflo闭环控制系统,提高膜层沉积速率;工艺参数可追溯,生产过程实现全程监控,方便追踪生产不良;设备自动化程度高,配合机械手使用可衔接上下工序,降低人工成本。
设备可镀制Nb2O5、SiO2、TiO2、In、Cu、Cr、Ti、SUS、Ag等氧化物及单质金属材料,主要用于金属与光学材料叠加的光学彩膜工艺;适用于玻璃、PC、PET等材质的平面类产品,已广泛应用于PET膜片/复合板、玻璃盖板、显示屏等产品。
备注:设备可根据客户要求定制